高純氣體管道系統(tǒng)專用過(guò)濾器丨316L不銹鋼過(guò)濾器
1. 設(shè)備介紹?
高純氣體管道系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光伏、LED、電子化工等行業(yè),負(fù)責(zé)輸送氮?dú)狻⒀鯕狻鍤狻錃獾雀呒?/ 超高純氣體,管道系統(tǒng)需具備極低的泄漏率和雜質(zhì)析出率,確保氣體在輸送過(guò)程中純度不衰減。?
2. 為何需要使用過(guò)濾器?
高純氣體在生產(chǎn)、儲(chǔ)存、輸送過(guò)程中,易受氣瓶?jī)?nèi)壁雜質(zhì)、管道焊接氧化層、閥門(mén)密封件析出物等污染,即使微量雜質(zhì)也會(huì)影響下游產(chǎn)品質(zhì)量(如光伏電池轉(zhuǎn)換效率、電子元件可靠性),過(guò)濾器是維持氣體純度的關(guān)鍵設(shè)備。?
3. 過(guò)濾器介紹?
恒歌 HF 系列高純氣體管道專用過(guò)濾器,專為高純氣體輸送系統(tǒng)設(shè)計(jì),采用電解拋光 316L 不銹鋼結(jié)構(gòu),內(nèi)壁粗糙度 Ra≤0.2μm,有效減少雜質(zhì)吸附,50Mpa 高壓設(shè)計(jì)適配各類高純氣體輸送壓力,可高效濾除氣體中的微粒、油霧、水分及有機(jī)雜質(zhì)。?
4. 產(chǎn)品特點(diǎn)?
316L 不銹鋼電解拋光處理,內(nèi)壁光滑無(wú)吸附,保障氣體純度?
輕量化設(shè)計(jì),安裝空間小,螺紋 / 法蘭連接可選,密封性能優(yōu)異?
耐高壓 50Mpa、耐高溫 180℃,適配多類型高純氣體(惰性 / 活性氣體)?
濾芯采用疏水 / 疏油材質(zhì),過(guò)濾效率高,不易結(jié)露堵塞?
100% 出廠完整性測(cè)試,泄漏率≤1×10?? Pa?m3/s?
維護(hù)簡(jiǎn)便,濾芯可單獨(dú)更換,降低使用成本?
5. 產(chǎn)品應(yīng)用?
適用于半導(dǎo)體高純氣體輸送管道、光伏行業(yè)高純氬氣 / 氫氣管道、LED 制造高純氮?dú)夤艿馈㈦娮踊こ呒冊(cè)噭┡涮讱怏w管道系統(tǒng)。?
6. 常見(jiàn)問(wèn)答?
Q1:過(guò)濾器對(duì)氣體流量有影響嗎??
A1:采用低流阻設(shè)計(jì),濾芯通量大,在額定流量范圍內(nèi)壓力損失≤0.05Mpa,不影響管道系統(tǒng)正常供氣。?
Q2:能否用于超高純氮?dú)?99.9999%)系統(tǒng)??
A2:完全適用,過(guò)濾器可濾除氮?dú)庵袣埩舻奈⒘克趾臀⒘#M(jìn)一步提升氣體純度至 99.99995% 以上。?
Q3:與普通過(guò)濾器的區(qū)別是什么??
A3:針對(duì)高純氣體設(shè)計(jì),無(wú)非金屬析出物,密封件采用全氟材質(zhì),避免污染氣體,且通過(guò) SEMI F20 高純標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證。?
7. 選型引導(dǎo)?
不同高純氣體的化學(xué)性質(zhì)、管道壓力、流量需求差異較大,如需匹配精準(zhǔn)過(guò)濾方案,歡迎聯(lián)系恒歌獲取專業(yè)選型支持!









